重庆超硅半导体8 /12英寸抛光硅片有望年内出片

05.06.2015  11:48

6月3日,记者从落户于两江新区水土工业园的重庆超硅光电技术有限公司获悉,该公司集成电路用8/12英寸半导体级抛光硅片及其延伸产品制造基地的土建工程即将于本月底完工,可达到取证验收要求。按计划,今年年底可以出片。项目投产后,将有力促进两江新区乃至重庆的半导体材料产业发展,填补我国规模生产8/12英寸半导体级硅产业的空白,改变该材料依靠进口的局面。

重庆超硅效果图

据悉,重庆超硅半导体项目,投资15亿元,用地200多亩,厂房面积12万平方米,达产后将实现8英寸硅片年产600万片、12英寸硅片年产60万片的产能。

高纯度、高标准、精密的新材料

据重庆超硅相关工程师介绍,重庆超硅的硅片生产线包括长晶、切片、磨片、抛光、清洗、外延及包装等工艺,为了保证品质,在每一个环节都设置了检测关口。以长晶环节为例,工程师要对长成的晶棒横向和纵向断面进行检测,不合格产品将被敲碎后重新回炉。

据悉,硅片在生产过程中主要面临两大难题。一方面是产品纯度要求高,硅含量必须达到99.9999999%以上,且原子晶相按照同一方向整齐排列,让电子可以顺畅通过,才算合格产品。另一方面,为了缩小集成电路的体积,电路的“线宽”达到90纳米。据了解,“线宽”是指集成电路内部电路导线的宽度,是衡量集成电路技术先进程度的标志之一,“线宽”越小,集成电路的技术就越先进。我们的一根头发直径大约是7万纳米, 90纳米单靠肉眼完全无法看见,所有的相关检测工作都必须在显微镜的帮助下才能完成。

如此精密的材料,对生产环境的要求也非常高,硅片的生产制造过程需要在无尘室内完成。重庆超硅的无尘室内每立方英尺空气中大于等于0.1微米粒径的灰尘数量不超过10颗,比医院无菌室标准还高出许多,医院手术室的标准为每立方英尺内,0.5微米的微粒不超过100颗。

传统的、稳定的、高科技产业

  “这是一个传统的、稳定的、高科技产业,”谈及硅片产业时,超硅工程师如是说到。

说它传统,因为硅作为地球常见化学元素之一,运用于半导体已经有几十年的历史了。早在1947年,美国贝尔实验室发明了半导体点接触式晶体管,开创了人类的硅文明时代。

说它稳定,因为随着电子产品的快速发展,作为集成电路产业链上游产业,全球硅产业整体发展势头良好,需求量大。截至去年年底,我国对8英寸硅片的需求量约为40万片/月,但基本全部依靠进口。目前我国已有多家企业着手自主研发8/12英寸材料硅片,竞逐市场蓝海,然而从研发到投产仍需要一个摸索过程。按计划,重庆超硅将于今年年底出片,以抢得市场先机。

据介绍,硅片与相关产品产值之间的比例为1:300,目前,电子元器件90%以上都选用硅材料,全世界与硅相关的电子工业产值达到约1万亿美元。重庆超硅投产后,将有力促进两江新区乃至重庆的新材料产业发展。

说它高科技,那更是不言而喻。硅片生产过程不仅需要高要求的作业环境,还需要精密设备和专业人员。据悉,重庆超硅将把技术引进和自主研发结合起来,从集团其他公司调用一批核心成员组建一支研发团队。另外,还将在本地招聘操作工人,能为两江新区提供约500个工作岗位。据悉,由于生产线技术含量高,重庆超硅对人员招聘准入门槛较高,入职后要进行技能和安全培训,考核合格方能上岗,并将进行继续教育。

中国制造2025》带来巨大发展机遇

在中国经济新常态下,我国工业也在寻求突破,谋划转型升级,新材料成为重要发展方向之一,并连续迎来一系列政策利好。上个月,国务院印发了《中国制造2025》,提出了十大重点领域,其中就有新材料。去年10月,国家集成电路产业投资基金成立,重点投资集成电路芯片制造业,兼顾芯片设计、封装测试、设备和材料等产业。

目前,硅片广泛应用于计算机、汽车电子、消费类电子、网络通信、LED等领域。今年,两江新区也在重点培育包括新材料在内的九大战略型新兴产业。未来,随着重庆超硅的投产,不仅将进一步完善两江新区电子行业产业链,还将填补我国规模生产8/12英寸半导体级硅产业的空白,改变材料依靠进口的局面。(记者 刘春雪)

 
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